[发明专利]液滴沉积设备无效
申请号: | 200380105563.7 | 申请日: | 2003-12-22 |
公开(公告)号: | CN1723128A | 公开(公告)日: | 2006-01-18 |
发明(设计)人: | 斯蒂芬·坦普尔;罗伯特·哈维;罗伯特·乔纳森·洛;保罗·雷蒙德·德鲁里 | 申请(专利权)人: | 萨尔技术有限公司 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 孙纪泉 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | 一种按需滴落喷墨打印机,具有无源元件(14),所述无源元件限定了具有各自喷嘴(16)的喷射室(12);和激励器元件,所述激励器元件包括具有开口的主体(12)和位于开口内的激励器结构(8)。激励器结构通过从浆液模制由压电材料构成或通过使用被烧掉的模型由柔性片真空形成。也可以采用MEM的技术以便利用后继的掩膜沉积,深蚀刻和类似工艺步骤在硅晶片上建立所述结构。 | ||
搜索关键词: | 沉积 设备 | ||
【主权项】:
1、一种用于按需滴落喷墨打印机的激励器元件,所述元件包括具有顶表面的主体,位于所述顶表面内且沿开口轴线延伸到所述主体内的开口,大体位于所述开口内的激励器结构,和电极装置;所述电极装置设置为能够将场施加给所述激励器结构以便使所述激励器结构变形。
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