[发明专利]块状单晶含镓氮化物制造方法有效
| 申请号： | 200380105621.6 | 申请日： | 2003-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN1723301A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·德维林斯基;罗曼·多拉津斯基;耶日·加尔钦斯基;莱谢克·西尔兹普托夫斯基;神原康雄 | 申请（专利权）人： | 阿莫诺公司;日亚化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B9/00 | 分类号： | C30B9/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘继富;顾晋伟 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 波兰;PL |
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| 摘要： | 本发明提出一种用来得到块状单晶含镓氮化物、从所得的结晶去除杂质的方法及制造由块状单晶含镓氮化物构成的衬底的工艺。根据本发明，添加有矿化剂的超临界含氨溶剂中的含镓原料得到单晶含镓氮化物的工艺的特征在于原料为金属镓形式和矿化剂为I族元素和/或其混合物，和/或其化合物，尤其是包含氮和/或氢的化合物的形式，而含氨溶剂是矿化剂与氨的形式，在该工艺的每一步骤中有两个温度区域，将原料放在溶解区域，将至少一个单晶晶种沉积在结晶区域，随后将溶剂转变成超临界状态，该工艺包括将原料从金属形式转变成多晶含镓氮化物的第一步骤，以及通过原料的逐渐溶解和在高于溶解原料的温度下在至少一个晶种上选择性结晶含镓氮化物来结晶含镓氮化物的第二步骤，同时反应系统的所有重要成分(包括原料、晶种与矿化剂)在整个工艺期间在系统内保持不变，从而得到块状单晶含镓氮化物。本发明还涉及所得结晶的后处理(切片、退火和清洗)。 | ||
| 搜索关键词： | 块状 单晶含镓 氮化物 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种从添加有矿化剂的超临界含氨溶剂中的含镓原料得到单晶含镓氮化物的工艺，所述工艺包括将原料从金属形式转变成多晶含镓氮化物的第一步骤，和通过原料的逐渐溶解和在高于溶解原料的温度下在至少一个单晶晶种上选择性结晶含镓氮化物的第二步骤，从而得到块状单晶含镓氮化物。
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