[发明专利]照射层上斑点的方法和装置中的液体清除有效
| 申请号： | 200380105642.8 | 申请日： | 2003-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1723499A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | H·范桑坦 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;G03F7/20;A61N5/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;张志醒 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 为了照射层(3)，辐射束(7)被导向并聚焦到层(3)上的斑点(11)，引起层(3)相对光学元件(59)的相对移动，使得层(3)的不同部分被接连照射且保持了最靠近层(3)的光学元件(59)的表面之间的间隙(53)。此外，辐射照射层(3)上的斑点(11)所经过的间隙(53)的至少一部分保持被液体(91)填充。通过将气流(71－73)导向层(3)的表面区域(74)，可靠地防止液体(91)穿过表面区域(74)，且不损伤层(3)。在表面区域(74)附近抽离层(3)上的液体(91)。 | ||
| 搜索关键词： | 照射 斑点 方法 装置 中的 液体 清除 | ||
【主权项】：
1.一种照射层(3)的方法，包括：使用至少一个光学元件(59)将辐射束(7)导向并聚焦到所述层(3)上的斑点(11)；引起层(3)和所述至少一个光学元件(59)的相对移动，使得层(3)的不同部分被接连照射且保持了最靠近所述层(3)的所述至少一个光学元件(59)的表面之间的间隙(53)；以及保持所述间隙(53)的至少一部分，通过它所述辐射照射所述层(3)上的所述斑点(11)，所述层(3)经由供应导管填充有液体(91)；其特征在于将气体(71-73)导向所述层(3)；以及在所述气体(71-73)气流附近从所述层(3)中清除供应的液体(91)。
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