[发明专利]用于X射线检测器的薄膜晶体管阵列面板

摘要

一种用于X射线检测器的薄膜晶体管阵列面板包括用于检测漏电流的伪像素，该伪像素包括有光电二极管以及TFT。该光电二极管包括相互面对的第一和第二电极(178、195)以及设置于第一电极和第二电极之间的光电导层(800)。TFT包括半导体层(150)、栅电极(123)、连接到数据线的源电极(173)、连接到光电二极管的漏电极(175)。伪像素还包括用于阻挡入射到光电二极管上光的光阻挡层(196)。或者，半导体层在源电极和漏电极之间断开。

主权项

1.一种用于X射线检测器的薄膜晶体管阵列面板，所述面板包括：栅极布线，形成于绝缘衬底上并包括栅极线和连接到所述栅极线的栅极电极；栅绝缘层，形成于所述栅极布线上；半导体层，形成于所述栅绝缘层上；数据布线，形成于所述栅绝缘层上，并包括与所述栅极线相交的数据线、连接到所述数据线并至少部分设置于所述半导体层上的源电极、至少部分设置于所述半导体层上并与所述源电极间隔开的漏电极；光电二极管，包括连接到所述漏电极的第一电极、面对所述第一电极的第二电极、以及设置于所述第一电极和所述第二电极之间的光电导层；偏置信号线，连接到所述第二电极；以及光阻挡层，覆盖所述光电二极管。