[发明专利]制造局部金属化薄膜元件的方法有效
| 申请号： | 200380106390.0 | 申请日： | 2003-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN1726136A | 公开（公告）日： | 2006-01-25 |
| 发明（设计）人： | 路德维格·布莱姆;海因里奇·维尔德;马蒂亚斯·塔特 | 申请（专利权）人： | 雷恩哈德库兹两合公司 |
| 主分类号： | B41M3/00 | 分类号： | B41M3/00;B41M3/14;B41M5/24;G03F1/00;B32B15/04;B32B15/08;H05K3/06;H05K3/08;H05K3/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造局部金属化薄膜元件的方法和装置，还涉及由所述方法制造的局部金属化薄膜元件。根据的本发明包括：生成一个数字化记录(332)，该数字化记录定义了一个根据所述数字化记录计算出的局部金属化的图形形状，设定了工具(38)的移动以及用于控制所述工具(38)的控制数据，在工具移动路径上使工具(38)以及一个单层或多层的薄膜体(30)相对于彼此移动，并且借助于工具(38)对金属层(31)进行局部脱金属化处理，尤其是通过使用蚀刻树脂的蚀刻剂(52)并对金属层(31)进行腐蚀来进行脱金属化处理，所述脱金属化处理由控制数据来控制。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 局部 金属化 薄膜 元件 方法 | ||
【主权项】：
1.用于制造局部金属化薄膜元件(1)的方法，其特征在于，生成一个定义了局部金属化的图形形状的数字数据集(332)，根据该数字数据集(332)计算出(333)一个工具路径和用于驱动工具的控制数据，所述工具(38)以及一个单层或多层的薄膜体(30，41，60，80)根据所述工具路径相对于彼此移动，并且由控制数据所控制的工具(38)形成了金属层(16，31，44，63，84)的局部脱金属化，尤其是通过使用腐蚀剂(52)或抗蚀剂(71)、或者通过腐蚀掉(23)金属层(16，31，44，63，84)来实现脱金属化。
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