[发明专利]用于平板显示器的透明导电膜无效
| 申请号： | 200380107174.8 | 申请日： | 2003-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1729310A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木幸彦;贺小明 | 申请（专利权）人： | 艾利丹尼森公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/18;C23C14/35;G02F1/1343;H01L51/05;H01L51/42;H01L51/50;H01L51/40 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于平板显示器的透明导电膜及其制造方法。一般地，根据本发明的方法包括：(1)提供柔性塑料基底；(2)以薄膜沉积技术在柔性塑料基底上连续沉积多层导电金属膜，多层导电金属膜包括由选自氧化铟铈(InCeO)和氧化铟锡(ITO)的合金制成的两层，这两层包围银、钯和铜(Ag/Pd/Cu[APC])的合金的单层；和(3)将复合膜收集在连续辊中。典型薄膜沉积技术为直流磁控管溅射。本发明另一方面是用根据本发明的方法制造的复合膜。本发明再一方面是复合膜，包括如上所述在柔性塑料基底上形成的多层膜，其中复合膜具有的综合性质包括：整个可见区的光透射率至少为80％；电阻率不大于约10Ω/平方；均方根粗糙度不大于约2.5nm；且多层金属膜和复合膜其余部分间的层间粘结力大得足以经受180℃剥落粘结测试。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平板 显示器 透明 导电 | ||
【主权项】：
1.一种形成复合膜的方法，其包括：(a)提供柔性塑料基底；(b)通过薄膜沉积技术在所述柔性塑料基底上连续沉积多层导电金属膜，所述多层导电金属膜包括由选自氧化铟铈(InCeO)和氧化铟锡(ITO)的合金制成的两个层，所述两个层包围银、钯和铜(Ag/Pd/Cu)的合金所制成的单层；和(c)将复合膜收集在连续辊中。
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