[发明专利]显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 200380107560.7 | 申请日： | 2003-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1732719A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 土屋薰;石垣步;斋藤惠子 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | H05B33/14 | 分类号： | H05B33/14;H05B33/10;H05B33/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 岳耀锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种显示装置的制造方法，可以抑制发光元件中的皱缩和发光不均匀等的缺陷模式，且缩短包含有机化合物的层(EL层)的前处理必需的时间。本发明的特征在于，通过形成与上述源区或漏区电连接的上述第1电极，形成上述绝缘膜以覆盖上述第1电极的端部，对上述第1电极和上述绝缘膜在包含氩气和氧气的气氛中进行等离子处理之后，在上述第1电极和上述绝缘膜上形成包含有机化合物的层，在包含有机化合物的层上形成第2电极，从而形成发光元件。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显示装置的制造方法，该显示装置具有薄膜晶体管和发光元件，其特征在于包括：形成与源区或漏区电连接的第1电极；形成绝缘膜以覆盖上述第1电极的端部；对上述第1电极和上述绝缘膜，在包含氩气和氧气的气氛中进行等离子处理之后，在上述第1电极和上述绝缘膜上形成包含有机化合物的层；在包含有机化合物的层上形成第2电极，从而形成上述发光元件。
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