[发明专利]辐射敏感性树脂组合物有效
| 申请号： | 200380107753.2 | 申请日： | 2003-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN1732408A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 西村功;藤原考一;小林英一;下川努;中村敦;米田英司;王勇 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;C08F4/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种辐射敏感性树脂组合物，该辐射敏感性组合物含有由活性自由基聚合得到的含有能电离出酸性基团的树脂和辐射敏感性酸产生剂，该含有能电离出酸性基团的树脂具有通过碱不溶性或碱难溶性酸作用获得碱易溶性的特定构造，上述含有能电离出酸性基团的树脂的重均分子量和数均分子量之比(重均分子量/数均分子量)小于1.5。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 敏感性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1、一种辐射敏感性树脂组合物，其特征在于该辐射敏感性树脂组合物含有含酸解离性基团的树脂和辐射敏感性酸产生剂，该含酸解离性基团的树脂通过酸作用由碱不溶性或碱难溶性成为碱易溶性，上述含有酸解离性基团的树脂含有下式(1)表示的重复单元，重均分子量和数均分子量之比(重均分子量/数均分子量)小于1.5，式(1)中，R1相互独立地表示氢、甲基、三氟甲基或羟甲基，R2 相互独立地表示碳原子数为4～20的1价脂环烃基或其衍生物或碳原子数为1～4的直链或支链烷基，且R2的至少一个为该脂环烃基或其衍生物，或任何2个R2相互结合，包括各碳原子一块形成碳原子数为4～20的2价脂环烃基或其衍生物，剩下的R2为碳原子数为1～4的直链或支链的烷基或碳原子数为4～20的1价脂环烃基或其衍生物。
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