[发明专利]具有声能源传输的衬底加工槽和加工衬底的方法有效
| 申请号： | 200380107761.7 | 申请日： | 2003-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1732711A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | J·科巴勒;X·金恩 | 申请（专利权）人： | 艾奎昂有限责任公司 |
| 主分类号： | H04R25/00 | 分类号： | H04R25/00;H01L41/08;B08B3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在清洁或光刻胶剥离等衬底加工过程中提高向工艺流体传输声能的效率和有效性的系统与方法。本发明利用层叠材料将声能从声能源输送至工艺流体。选择构成每个层的物质，它能缩小层叠中连续层之间的声波阻抗差别，在将声能从声有源传输至工艺流体时产生声波阻抗更为逐渐进的传输。本发明一方面提出了一种系统，包括：用来容纳工艺流体的加工室；声能源；和具有第一传输层和第二传输层的声层叠，该声层叠构成从声能源到加工室中工艺流体的声能通道。 | ||
| 搜索关键词： | 有声 能源 传输 衬底 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用来加工至少一个衬底的系统，包括：用来容纳工艺流体的加工室；声能源；用来将声能从声能源传输到加工室中的工艺流体的声层叠，该声层叠具有第一传输层和第二传输层；第一传输层位于声能源和第二传输层之间，具有第一声波阻抗值；第二传输层位于第一传输层和加工室中的工艺流体之间，具有小于第一声波阻抗值的第二声波阻抗值。
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