[发明专利]测量照明系统性能的方法无效
| 申请号： | 200380107907.8 | 申请日： | 2003-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN1732411A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | P·迪克森;C·A·H·朱弗曼斯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;陈景峻 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 利用包括至少一个菲涅耳带透镜(30)和相关基准标记的测试目标(55)可以精确和可靠地测量例如光刻投影装置中的照明系统的性能，该基准标记优选为环(40)。通过将其重叠成像并且检测和评估所组合的图像(56)，可以测量照明的远心误差和像差。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 照明 系统 性能 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量照明系统性能的方法，所述照明系统包括辐射光源并且用于成像装置中，该方法包括以下步骤：-提供包括至少一个菲涅耳带透镜的测试目标；-将该测试目标设置在成像装置的物平面中；-利用由照明系统提供的照明光束以及利用该装置的成像系统将包括菲涅耳带透镜的测试目标区域成像在像平面中，由此将局部有效光源成像到像平面中；-利用检测设备以及相关的处理装置来评估局部有效光源的图像，以确定照明系统的性能，其特征在于提供测试目标的步骤包括提供对于每个菲涅耳带透镜具有基准标记的测试目标，以及其中成像的步骤包括在检测设备的视场内成像菲涅耳带透镜区域和相应基准标记区域。
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