[发明专利]不对称8族(Ⅷ)金属茂化合物有效
申请号: | 200380107926.0 | 申请日: | 2003-10-30 |
公开(公告)号: | CN1732178A | 公开(公告)日: | 2006-02-08 |
发明(设计)人: | D·M·汤普森;C·A·霍弗 | 申请(专利权)人: | 普莱克斯技术有限公司 |
主分类号: | C07F17/02 | 分类号: | C07F17/02;C23C14/14;C23C14/26 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 赵苏林 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 不对称双取代金属茂化合物的通式为CpMCp′,其中M为选自Ru、Os和Fe的金属;Cp为第一个取代的环戊二烯基或者茚基部分,该部分包含至少一个取代基D1;Cp′是第二个取代的环戊二烯基或者茚基部分,该部分包含至少一个取代基D1′。D1与D1′不同。D1为X;Ca1Hb1Xc1;Ca2Hb2Xc2 (C=O)Ca1Hb1Xc1;或者Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1,其中X为卤素原子或者硝基;a1为2到8的整数;b1为0到2(a1)+1-c1的整数;c1为0到2(a1)+1-b1的整数;b1+c1至少为1;a2为0到8的整数;b2为0到2(a2)+1-c2的整数;c2为0到2(a2)+ 1-b2的整数;且D1′为X;Ca1Hb1Xc1;Ca2Hb2Xc2 (C=O)Ca1Hb1Xc1;或者Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1,其中X为卤素原子或者硝基;a1为1到8的整数;b1为0到2(a1)+1-c1的整数;c1为0到2(a1)+1-b1的整数;b1+c1至少为1;a2为0到8的整数;b2为0到2(a2)+1-c2的整数;c2为0到2(a2)+1-b2的整数;该化合物可以在薄膜沉积过程用作前体。 | ||
搜索关键词: | 不对称 金属 化合物 | ||
【主权项】:
1.一种通式CpMCp′的8族(VIII)不对称金属茂,所述金属茂中:M为选自Ru、Os和Fe的金属;Cp是第一个取代的环戊二烯基或者茚基部分,该部分包含至少一个取代基D1;Cp′是第二个取代的环戊二烯基或者茚基部分,该部分包含至少一个取代基D1′;其中D1与D1′不同;D1选自:X;Ca1Hb1Xc1;Ca2Hb2Xc2(C=O)Ca1Hb1Xc1;以及Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1,其中X为F、Cl、Br、I或者NO2;a1为2到8的整数;b1为0到2(a1)+1-c1的整数;c1为0到2(a1)+1-b1的整数;b1+c1至少为1;a2为0到8的整数;b2为0到2(a2)+1-c2的整数;c2为0到2(a2)+1-b2的整数;以及D1′选自:X;Ca1Hb1Xc1;Ca2Hb2Xc2(C=O)Ca1Hb1Xc1;以及Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1,其中X为F、Cl、Br或者I或者NO2;a1为1到8的整数;b1为0到2(a1)+1-c1的整数;c1为0到2(a1)+1-b1的整数;b1+c1等于或者大于1;a2为0到8的整数;b2为0到2(a2)+1-c2的整数;c2为0到2(a2)+1-b2的整数;并且b2+c2等于或者大于1。
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