[发明专利]图案形成装置、图案形成方法、图案形成系统无效
| 申请号： | 200380108032.3 | 申请日： | 2003-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1732075A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 后藤博史;藤井充;吉冈治男;岸英树 | 申请（专利权）人： | 天成科威有限公司;伯东株式会社 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在图案形成装置(10)中，把用于在基板(200)上形成图案的模具(100)加热到基板(200)的表层部的玻化温度Tg以上的温度T1，在该状态下，把模具(100)按压到温度在玻化温度Tg以下的基板(200)上，并转印模具(100)的图案。然后，切断加热器，利用冷却单元将模具(100)冷却后，使模具(100)从基板(200)分离。并且，优选设置从料箱逐个取出基板(200)并依次供给该图案形成装置(10)的供给装置，构成图案形成系统。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 装置 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成装置，其特征在于，具有：在成为加工对象物的大致平板状的基板上形成规定图案的模具；加热所述模具的加热部；保持所述基板的基板保持部；把所述模具按压在由所述基板保持部保持的所述基板上的加压机构。
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