[发明专利]安装沉积掩模的柔性框无效
| 申请号： | 200380108073.2 | 申请日： | 2003-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN1732282A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | T·K·克拉克 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 把沉积掩模(12)安装在柔性框(14)上的一种方法，该方法应用于制作OLED中通过可撕开沉积掩模的材料真空沉积，所述方法包含步骤：提供具有制作在其上的可撕开沉积掩模的底板(38)；提供具有边界部分(10)的柔性框，这种边界部分构成框的开口，所述框的开口对应于可撕开沉积掩模的边界部分；使柔性框的边界部分与可撕开沉积掩模的边界部分对准并然后固定它们，和从底板上取去柔性框及已固定的可撕开沉积掩模；和把柔性框与可撕开沉积掩模在支持件(26)中安装起来，支持件(26)在随后的材料真空沉积期间保持可撕开沉积掩模的平面性。 | ||
| 搜索关键词： | 安装 沉积 柔性 | ||
【主权项】：
1.把沉积掩模安装在柔性框上的一种方法，在制作有机发光二极管中所述方法应用于通过可撕开沉积掩模真空沉积材料，所述方包括步骤：(a)提供具有制成在其上的可撕开沉积掩模的底板；(b)提供具有边界部分的柔性框，这种边界部分构成框的开口，所述框的开口与可撕开沉积掩模上的边界部分相对应；(c)使柔性框的边界部分与可撕开沉积掩模的边界部分对准然后固定它们，和从底板上取去柔性框及已固定的可撕开沉积掩模；和(d)把柔性框与可撕开沉积掩模安装在支持件中，所述支持件在随后的真空沉积材料期间保持可撕开沉积掩模的平面性。
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