[发明专利]凸块高度测量的系统和方法无效
| 申请号： | 200380108331.7 | 申请日： | 2003-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1735896A | 公开（公告）日： | 2006-02-15 |
| 发明（设计）人： | G·布朗;R·格德肯;C·哈里斯;C·S·客;W·瓦哈韦桑 | 申请（专利权）人： | 半导体技术及器械公司 |
| 主分类号： | G06K9/36 | 分类号： | G06K9/36;G01C3/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;梁永 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用来检查元件的系统。此系统包括光源，用来照射元件特征，以便产生离开元件特征的镜面反射或非朗伯反射。图象传感器被定位接受此镜面反射或非朗伯反射，从而产生例如从元件特征反射的光点的点亮度数据和点位置数据。高度测量系统接收点亮度数据和点位置数据，并产生特征高度数据。 | ||
| 搜索关键词： | 高度 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用来检查元件的系统，它包含：光源，用来照射元件特征，以便产生离开元件特征的非朗伯反射；图象传感器，定位成接收非朗伯反射并产生亮度数据和位置数据；以及高度测量系统，接收亮度数据和位置数据，并产生特征高度数据。
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