[发明专利]可调式气体分配板组件无效
| 申请号： | 200380108409.5 | 申请日： | 2003-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1735956A | 公开（公告）日： | 2006-02-15 |
| 发明（设计）人： | 温德尔·T·布伦尼格;约翰·M·怀特;威廉·A·巴格利 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/455;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体分配板组件及一在一制程室中用于分配气体的方法。在一具体实施例中，一气体分配板组件包括一耦合至一扩散板的调整板。该调整板具有多个通过该调整板而形成的孔洞，该等孔洞会对准多个通过扩散板而形成的开口，其中该等开口各具有比在该调整板内的孔要大的断面积。各开口是对准一各自的孔以界定通过该气体分配板组件的气体信道。该调整板可与一替换调整板互换，以改变通过该气体分配板组件的气体流动特征。 | ||
| 搜索关键词： | 调式 气体 分配 组件 | ||
【主权项】：
1.一种用于一制程室的气体分配板组件，至少包含：一调整板，是具有多个通过该调整板而形成的孔洞；及一靠抵该调整板置放的扩散板，该扩散板具有多个通过该扩散板而形成的开口，各开口对准在该调整板内的一各自的孔洞且界定一通过该气体分配板组件的气体信道，该开口具有的断面积大于在该调整板内的该孔洞的断面积。
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