[发明专利]用于制备光纤预型体的改进的化学气相沉积设备

摘要

本发明披露了用于制备光纤预型体的改进的化学气相沉积(MCVD)设备。MCVD设备包括：石英管及其连接部分；鼓泡器系统，用于生成将被供应给石英管的反应气；以及旋转接头，用于连接鼓泡器系统和承载石英管的车床主轴。该设备将石英管及其连接部分、鼓泡器系统和旋转接头与外界大气隔绝，使该隔绝区域保持在惰性气体条件下，从而防止外界大气中的水分或氢组分渗透进入石英管。

主权项

1.用于制备光纤预型体的改进的化学气相沉积设备，该设备包括：石英管；车床，用于承载所述的石英管，以使得石英管可以在其中轴上旋转；鼓泡器系统，用于生成将被输送进所述石英管的反应气；旋转接头，用于连接车床的主轴箱和鼓泡器系统；以及密封腔，该密封腔包围着包括旋转接头在内的区域，以便将所述的包括旋转接头在内的区域与外界大气隔绝，其中，所述的密封腔包括用于向该密封腔内流入惰性气体的输入管和用于排出惰性气体的输出管，借此使所述的密封腔内部保持惰性气氛。