[发明专利]微电子接触件结构

摘要

本发明涉及一种沿着一中心纵轴(101)设置的伸长的、柱状的微机械结构(100)；所述结构由叠层结构层(102，104，106)制成，其中每一个层由一种结构材料构成。所述层界定一在所述结构近端的大体刚性的基座部分(108)、一从所述基座部分沿所述中心轴延伸的弹性中间部分(110)和一在所述结构远端从所述弹性部分延伸的触尖(112)。接触件结构的弹性部分由界定在所述层中的弹性臂构成。所述弹性臂的相对端可相对彼此绕所述中心轴成成角度地偏移。因此，当所述接触件结构在一轴向上受到压缩时，所述触尖将绕所述中心轴旋转，而所述基座保持固定，从而对所述触尖提供了有利的擦拭作用。

主权项

1.一种沿一中心纵轴设置的伸长的、柱状的微机械结构，所述结构包含：复数个叠层结构层，所述层中的每一个由一结构材料构成；一在所述结构的一近端的大体刚性的基座部分；一从所述基座部分沿所述中心轴延伸的弹性中间部分，所述弹性部分由所述复数个层中的至少两个层中界定的复数个臂构成；和一在所述结构的一远端从所述弹性部分延伸的触尖。