[发明专利]一种管状工件内表面改性的方法及其专用装置

摘要

本发明涉及一种管状工件内表面改性的方法及其专用装置。该方法将该管状工件置于一个加工室中，并将一柱状电极和一可允许等离子体扩散的管状电极，由内至外同轴布置在该管状工件内，将该两电极与射频电源接通，从而在加工室中产生一团沿轴向均匀分布的稳态射频等离子体，所述管状电极由分布在圆筒状支撑件外表面的周向均匀分布或螺旋式分布的电极丝构成，在管状工件和管状电极之间施加负高压的同时，使管状电极与管状工件之间作相对转动，从而相对均匀地将离子加速注入到管状工件内表面。本发明方法及其专用装置消除了被改性的管状工件内表面的栅网阴影，使得改性的内表面更加均匀另外，尤其适用于细长管状工件的改性。

主权项

1、一种管状工件内表面改性的方法，该方法包括以下步骤：首先将被处理的管状工件置于一个加工室中，并将一柱状电极和一可允许等离子体扩散的管状电极，由内至外同轴布置在该管状工件内；通过抽真空装置将加工室抽真空至10-3pa；然后，向此加工室10中充入工作气体；其特征在于：将该两电极与射频电源接通，从而在加工室中产生一团沿轴向均匀分布的稳态射频等离子体，该等离子体通过管状电极向管状工件内表面沿轴向扩散；在管状工件和管状电极之间施加负高压的同时，接通驱动装置的电源，从而相对均匀地将离子加速注入到管状工件内表面，加工完成后。