[发明专利]光波面测定装置、光波面测定方法和光源装置的调整方法

摘要

光波面测定装置(2，2a，42)具有将从光头装置(1，31)射出了的光束分离为第1光束和第2光束的分离元件(7a，47a)、从第1光束形成并显示干涉条纹的第1干涉条纹显示部(21，21a)、使第2光束的波面以光轴(AX2)为中心旋转的偏转棱镜(13，53)和从透过了偏转棱镜的第2光束形成并显示干涉条纹的第2干涉条纹显示部(22，22a)。在光源装置的调整中，在光轴方向上调整光头装置(1，31)的准直器(5)的位置，使得在干涉条纹显示部(21，22，21a，22a)上显示了的干涉条纹的形状变得接近。

主权项

1.一种光波面测定装置，其特征在于，具有：分离元件，将入射的光束分离为第1光束和第2光束；第1干涉条纹显示部，配置在上述第1光束中，从上述第1光束形成并显示干涉条纹；第2干涉条纹显示部，具有与上述第1干涉条纹显示部相同的结构，配置在上述第2光束中，从上述第2光束形成并显示干涉条纹；以及波面旋转元件，配置在上述分离元件与上述第1干涉条纹显示部之间或上述分离元件与上述第2干涉条纹显示部之间的至少一方，使上述第1光束的波面或上述第2光束的波面中的至少一方以其光轴为中心旋转。