[发明专利]根据状态估算结果调整采样率的方法有效
| 申请号： | 200380110219.7 | 申请日： | 2003-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1759358A | 公开（公告）日： | 2006-04-12 |
| 发明（设计）人： | J·王;B·K·卡森 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于根据状态估算结果调整采样率的方法与装置(120)。该方法包括接收有关于处理工件的测量数据，根据该测量数据的至少一部份估算下个处理状态，并且决定有关于该估算的下个处理状态的错误值。该方法还包括根据估算的下个处理状态而处理多个工件，以及根据该决定的错误值调整该待测量的经处理工件的采样协议。 | ||
| 搜索关键词： | 根据 状态 估算 结果 调整 采样率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：接收有关于一个或更多个先前经处理的工件的测量数据；根据该测量数据的至少一部份估算下个处理状态；决定有关于该估算的下个处理状态的错误值；根据该估算的下个处理状态处理多个工件；以及根据该决定的错误值调整该等经处理工件所欲测量的采样协议。
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