[发明专利]衬底处理方法和衬底处理装置

摘要

处理槽(10)分成清洗处理部(15)和干燥处理部(30)，在该两个处理部的接合部，形成间隙，该间隙与凹槽(29)连通，在进行衬底的干燥处理时，将衬底从清洗处理部，移向干燥处理部，将多孔板(28)插入形成有间隙的下方，按照干燥处理部(30)的内部压力高于池(29)的内部压力，并且清洗处理部(30)的内部压力低于干燥处理部(30)的内部压力的方式，向上述衬底，喷射干燥气体。此时，最好，上述多孔板(28)为开设具有规定直径的小孔的穿孔板。通过上述构成，获得干燥气体可均匀而稳定地供给到多块衬底的集合体的衬底处理法和装置。

主权项

1.一种衬底处理方法，其特征在于处理槽分为清洗处理部和干燥处理部，在这两个处理部的接合部，形成间隙，该间隙与凹槽连通，在进行衬底的干燥处理时，将该衬底从上述清洗处理部，移动到上述干燥处理部，在形成该间隙的下方，插入多孔板，按照使该干燥处理部的内部压力高于池的内部压力，并且上述清洗处理部的内部压力小于干燥处理部的内部压力的方式进行设置，向该衬底喷射干燥气体。