[发明专利]低损耗微环形谐振器设备

摘要

本发明揭示了一种低损耗微环形谐振器设备(10；100；10’)，它包括一个具有第一折射率(n_r)的闭环谐振波导(2)，谐振波导(2)用波导(2)的一个外弯曲缘(15)限定了一个内区(16)和一个外区(17)。谐振波导设置在一个具有第二折射率(n_b)的基片(6；6’)上，第一折射率(n_r)与第二折射率(n_b)之间的折射率差(Δn₁)大于0.3。设备(10)还包括一个覆盖谐振波导(2)的内区(16)的具有第三折射率(n_uc)的上覆盖层(20)和一个与外弯曲缘(15)接触、在外区(17)内延伸的侧覆盖层(21)，所述侧覆盖层(21)具有第四折射率(n_lc)，所述第四折射率(n_lc)小于第三折射率(n_uc)。本发明还揭示了一种减小一个谐振器设备(10；100；10′)的传播损耗的方法。

主权项

1.一种低损耗微环形谐振器设备(10；100；10′)，所述谐振器设备包括：一个具有第一折射率(nr)的闭环谐振器波导(2)，所述谐振器波导(2)由其外弯曲缘(15)限定一个内区(16)和一个外区(17)，所述谐振器波导设置在一个具有第二折射率(nb)的基片(6；6′)上，所述第一折射率(nr)与所述第二折射率(nb)之间的折射率差(Δn1)大于0.3；一个覆盖所述谐振器波导(2)的所述内区(16)的具有第三折射率(nuc)的上覆盖层(20)；以及一个与所述外弯曲缘(15)接触、在所述外区(17)内延伸的侧覆盖层(21)，所述侧覆盖层(21)具有第四折射率(nlc)，所述第四折射率(nlc)小于所述第三折射率(nuc)。