[发明专利]使用薄膜体声共振器的材料感应传感器和模块无效
| 申请号： | 200410001124.8 | 申请日： | 2004-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1517706A | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 李宪民;朴宰永 | 申请（专利权）人： | LG电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/00 | 分类号： | G01N29/00 |
| 代理公司： | 北京金信联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张金海 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开的内容包括：一种使用具有小尺寸和高材料测量灵敏度的薄膜体声共振器的材料感应传感器，与其它材料感应传感器一起被形成阵列形式，并且与信号处理器集成在同一印刷电路板上，从而精确地测量多个材料；和一种材料感应模块。该使用薄膜体声共振器(TFBAR)的材料感应传感器包括：一第一薄膜体声共振器，用于根据一目标材料的量和/或厚度产生一第一共振频率；和一参照薄膜体声共振器，用于产生一参照共振频率。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 薄膜 共振器 材料 感应 传感器 模块 | ||
【主权项】：
1、一种使用薄膜体声共振器(TFBAR)的材料感应传感器，包括：一第一薄膜体声共振器，用于根据一目标材料的量和/或厚度产生一第一共振频率；和一参照薄膜体声共振器，用于产生一参照共振频率。
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