[发明专利]等离子加工方法和装置

摘要

一种用于通过将电功率提供给设置在等离子源或待加工物体处的电极以产生直线等离子，同时将气体提供给设置在待加工物体附近的等离子源，并通过使等离子产生的活化粒子作用在待加工物体上，由此加工待加工物体的直线部分的等离子加工方法，所述方法包括步骤：当X－轴在待加工物体直线部分的直线方向时，检测等离子源在X－轴方向的倾斜度；并通过沿X－轴方向移动等离子源，同时保持等离子源和待加工物体的相对位置，以便检测的等离子源的倾斜度变得近似为零，由此通过产生的直线等离子加工待加工物体的直线部分。

主权项

1.一种用于通过将电源提供给设置在等离子源或物体处的电极以产生直线等离子，同时将气体提供给设置在物体附近的等离子源，并通过使等离子产生的活化粒子作用在物体上，由此加工待加工物体的直线部分的等离子加工方法，所述方法包括步骤：当X-轴作为物体直线部分的直线方向时，检测等离子源在X-轴方向的倾斜度；以及通过沿X-轴方向移动等离子源，同时保持等离子和物体的相对位置，以便检测的等离子源的倾斜度近似为零，通过产生的直线等离子加工物体的直线部分。