[发明专利]玻璃基板的切断面检查装置无效

专利信息
申请号: 200410002204.5 申请日: 2004-01-15
公开(公告)号: CN1621818A 公开(公告)日: 2005-06-01
发明(设计)人: 金英泽;文祥昊;金昶勋;李斗铉 申请(专利权)人: 三星康宁精密琉璃株式会社
主分类号: G01N21/896 分类号: G01N21/896
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 胡建新
地址: 韩国庆*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 玻璃基板的切断面检查装置,能够从多个方向立体地对玻璃基板的切断面进行检查,用光学方式迅速而准确地检查出玻璃基板的质量检查中所用的切断面信息。该玻璃基板的切断面检查装置具有的主自动装置(150),包括:固定玻璃基板的吸附板(110)、用于分别取得基板的切断面的上侧、下侧、平面影像的第1、第2和第3摄影装置(120、130、140)、以及固定第1~第3摄影装置并使其移动的机架(151)。将利用该装置以光学方式取得的切断面信息进行反馈,能够提高玻璃基板的生产效率和质量。
搜索关键词: 玻璃 切断 检查 装置
【主权项】:
1、一种玻璃基板的切断面检查装置,用于检查玻璃基板的切断面,其特征在于,包括:吸附板,用于固定上述玻璃基板,使上述玻璃基板的切断面向一边侧突出;第1摄影装置,位于上述玻璃基板的上表面的上方,并具有第1摄影机,用于面向上述切断面上侧与上述上表面垂直地对玻璃基板进行摄影获得影像;第2摄影装置,位于上述玻璃基板的下表面的下方,并具有第2摄影机,用于面向上述切断面下侧与上述下表面垂直地对玻璃基板进行摄影获得影像;第3摄影装置,与上述玻璃基板的切断面对置,并具有第3摄影机,用于与上述切断面垂直地对玻璃基板进行摄影获得影像;机架,与上述玻璃基板的切断面靠近设置,分别与上述第1~第3摄影装置结合;以及机架移动装置,用于使上述机架移动,以便使设置在上述机架上的上述第1~第3摄影装置沿着上述切断面的长度方向移动,而可对切断面进行摄影。
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