[发明专利]液滴喷出装置、印刷装置、印刷方法和电光学装置无效
申请号: | 200410002288.2 | 申请日: | 2004-01-16 |
公开(公告)号: | CN1517211A | 公开(公告)日: | 2004-08-04 |
发明(设计)人: | 三浦弘纲;尼子淳 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/01 | 分类号: | B41J2/01;H01L21/288;G06K19/077;H01L21/3205;B41J27/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 喷墨装置等的液滴喷出装置中,高精度进行液滴喷出为课题。采用:喷头向基板的目标位置喷出液滴的同时,用圆筒状激光来包围液滴的应前进的轨迹。由此,即使是喷头喷出的液滴轨迹离开所定的轨道,激光弹回液滴,从而,可以使液滴喷着在基板上的目标位置。 | ||
搜索关键词: | 喷出 装置 印刷 方法 光学 | ||
【主权项】:
1、一种液滴喷出装置,具有向基板喷出液滴的喷头;和轨道修正机构,其以从上述喷头所喷出的液滴离开所定的轨道时,将使该液滴回到所定轨道方向的能量给予该液滴。
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