[发明专利]三维光子晶体制备方法及其装置

摘要

涉及一种用全息方法制备三维光子晶体的方法及装置。将激光经扩束空间滤波，再变成扩束的平行光照射到光栅版上，在光栅版后产生4束光干涉，在干涉区域放置记录干版，再经曝光显影。设有激光器、扩束与空间滤波器、准直透镜、光栅版和全息记录干版，光栅版对扩束后的平行光形成4束光干涉。只需单束激光和光栅版就能产生四束光，并以期望的方向运行。四束光汇合后在自由空间互相干涉，产生了光强度周期性变化的三维图形。用光敏材料产生折射率周期性变化的三维晶格结构。只要晶格结构中的二种折射率之比够大，就能产生光子禁带，该材料就能用做光子晶体。若用光刻胶版做记录材料，亦可将记录下的结构当作模版，用高折射率材料翻制成光子晶体。

主权项

1、三维光子晶体制备方法，其特征在于将激光经扩束与空间滤波，再变成扩束的平行光，将扩束后的平行光照射到光栅版上，在光栅版后产生4束光干涉，在干涉区域放置全息记录干版，经曝光显影后，即得三维光子晶体。