[发明专利]确定离子分布的快速预测方法无效
| 申请号： | 200410003186.2 | 申请日： | 2004-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1661368A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 张进宇;施小康;铃木邦广;冈秀树 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | G01N30/96 | 分类号： | G01N30/96 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公布了一种预测离子注入中的离子分布的方法，包括以下步骤：初始化离子、靶原子材料，并输入和分裂、散射相关的数据文件；在离子的运动过程中，使能量高于离子分裂能量Es的离子分裂成两个虚离子；重复上述离子分裂的步骤，计算体系中所有虚离子的停止位置，得到最终的离子分布，其中，对离子的分裂进行控制，使得更多的离子在高能的条件下运动，从而有更多的离子进入统计稀有区。本发明的方法改进了传统的离子注入预测流程，大幅度地提高了预测结果的精度和可靠性，缩短了预测时间，提高了后续工艺处理的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 离子 分布 快速 预测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种预测离子注入中的离子分布的方法，包括以下步骤：初始化离子、靶原子材料，并输入和分裂、散射相关的数据文件；在离子的运动过程中，使能量高于预定的离子分裂能量Es的离子分裂成两个虚离子；重复上述离子分裂的步骤，计算体系中所有虚离子的停止位置，得到最终的离子分布，其中，对离子的分裂进行控制，使得更多的离子在高能的条件下运动，从而有更多的离子进入统计稀有区。
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