[发明专利]设计热物理汽相淀积系统的方法无效
| 申请号： | 200410003845.2 | 申请日： | 2004-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1568107A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | J·M·格雷斯;D·R·弗雷曼;N·雷登;J·H·克卢格;S·A·范斯利克 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H05B33/14;H05B33/26;C23C16/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周慧敏;段晓玲 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： |
根据本发明提供一种设计用于热汽相淀积的系统的方法，该系统包括要被淀积在工件上的材料、用于容纳材料的长条形的容器、用于加热容器中的材料使材料汽化的加热器，该容器限定了n个孔，用于在长条形方向上以长条形的方式发射汽化的材料，该设计包括以下步骤：计算在所需淀积速率下单位长度上总的源产量Q；计算在源的总孔导流为CA时产量Q所要求的源的内部压力P；将该系统建立成流导的阶梯网络的模型，该长条形的容器在孔之间具有容器导流CB，导流Cb＝nCB，该孔具有复合流导 |
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| 搜索关键词： | 设计 物理 汽相淀积 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于涂覆大面积衬底的方法，包括以下步骤：a)将要被淀积到工件上的材料装入长条形容器，该容器在长条形的方向上的流导为CB；b)加热容器中的材料使其汽化到分压为Pm；c)该容器在长条形方向上以长条形图形限定一个或多个孔，用于通过该孔发射汽化的材料，该一个或多个孔具有流导CA；其中CA/CB≤0.5，和d)在基本垂直于长条形方向的方向上提供衬底和长条形容器的相对移动。
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