[发明专利]检测组件和具有这种检测组件的光刻投影装置无效
申请号: | 200410003848.6 | 申请日: | 2004-01-14 |
公开(公告)号: | CN1517797A | 公开(公告)日: | 2004-08-04 |
发明(设计)人: | P·A·J·廷内曼斯 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/00;G06F17/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 肖春京 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本发明包括一种用于电容性地检测支撑结构上的物体21的检测组件20,包括至少一个设置在支撑结构23附近的电极25和至少一个连接到至少一个电极25的电缆29,所述至少一个电缆29具有第一导线28和第二导线26,所述第一导线28连接到串联连接的DC电源和第一AC电源33,以及控制装置37,控制装置37设置成:控制所述DC电源31,将预定的DC电压提供给所述至少一个电极25,以提供所述物体21上的夹持力,和控制所述第一AC电源33,通过所述第一导线28将具有第一振幅和第一相位的预定第一AC电压提供给所述至少一个电极25,用于电容性地检测所述物体21。本发明的新意在于所述组件20包括连接到所述第二导线26的第二AC电源35,所述控制装置37设置成控制所述第二AC电源35将预定的第二AC电压提供给所述第二导线26,所述第二AC电压具有分别与第一振幅和第一相位基本上相等的第二振幅和第二相位。 | ||
搜索关键词: | 检测 组件 具有 这种 光刻 投影 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于电容性地检测支撑结构(23)上的物体(21)的检测组件(20),包括至少一个设置在支撑结构(23)附近的电极(25)和至少一个电缆(29),所述至少一个电缆(29)具有第一导线(28)和第二导线(26),所述第一导线(28)的第一端连接到该至少一个电极(25)并且第二端连接到第一AC电源(33),还包括一个控制装置(37),该装置设置用于为电容性地检测所述物体(21)而控制所述第一AC电源(33),以通过所述第一导线(28)为所述至少一个电极(25)提供具有第一振幅和第一相位的预定的第一AC电压,其特征在于:所述组件(20)包括连接到所述第二导线(26)的第二AC电源(35),所述控制装置(37)设置成控制所述第二AC电源(35)以向所述第二导线(26)提供预定的第二AC电压,所述第二AC电压具有分别与第一振幅和第一相位基本相等的第二振幅和第二相位。
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