[发明专利]具有电绝缘可动部分的静电微致动器和相关的驱动电路无效
申请号: | 200410004938.7 | 申请日: | 2004-02-13 |
公开(公告)号: | CN1534610A | 公开(公告)日: | 2004-10-06 |
发明(设计)人: | 敏树平野;杨宏渊 | 申请(专利权)人: | 日立环球储存科技荷兰有限公司 |
主分类号: | G11B5/596 | 分类号: | G11B5/596 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李德山 |
地址: | 荷兰阿*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 一种双向静电旋转微致动器,具有两组固定电极,一组用于逆时针驱动该微致动器,另一组用于顺时针驱动它,还具有可旋转框架,它具有连接至该可旋转框架外壁的可动电极,该可动电极在固定电极之间交错。在连接有可动电极的外壁和框架的剩余部分之间设置绝缘材料层,从而可动电极被电隔离。该框架保持为接地电位,可动电极保持在固定的非零电位上。通过给一组固定电极施加正或者负的电压而给另一组施加相反电压,同时保持可动电极在固定的非零电压上,可以驱动该微致动器。该微致动器可以用作磁盘驱动器中的辅助致动器,用于精确定位磁头。 | ||
搜索关键词: | 具有 绝缘 部分 静电 微致动器 相关 驱动 电路 | ||
【主权项】:
1.一种磁盘驱动器,包括磁记录盘,具有多个数据磁道;读/写磁头,用于从磁盘中读出数据和向其中写入数据;主致动器,用于将该磁头粗定位在所选择的磁道上;以及静电辅助致动器,连接至读写头以及主致动器,用于在所选择的磁道上精定位该读写头,该辅助致动器包括:连接在主致动器上的衬底;多个导电固定电极,在衬底上形成;以及可动部件,由导电材料形成,并且具有(a)连接至衬底并且支撑该读写头的框架,以及(b)多个导电可动电极,框架和所支撑的读写头连接至该可动电极,但是与其电隔离。
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