[发明专利]用于确定光学部件的色散的设备与方法无效
| 申请号： | 200410005897.3 | 申请日： | 2004-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN1558211A | 公开（公告）日： | 2004-12-29 |
| 发明（设计）人： | 埃格博特·克劳泽 | 申请（专利权）人： | 特拉波斯公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的目的在于使以改进的方式确定样本(4)的色散成为可能。为此目的，在干涉仪(10)中利用辐射源(1)的光对样本(4)进行射线照射。随后的偏振光计(50)测量干涉辐射的功率变化及偏振变化。在随后的评价单元(7)中，可以确定与波长相关的色散。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 光学 部件 色散 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定样本(4)的色散的设备，包括用于发出具有不同波长的辐射的辐射源(1)，包括参考臂(12)和测量臂(13)的干涉仪装置(10)，该干涉仪装置被所述辐射源(1)照射用于产生由样本而定的干涉辐射，测量装置，用于测量所述干涉辐射的功率变化和偏振变化，和评价装置(7)，用于根据所述功率变化和偏振变化确定样本(4)的色散，其特征在于所述测量装置包括偏振光计(50)。
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