[发明专利]电路载板的制造方法有效
申请号: | 200410005942.5 | 申请日: | 2004-02-23 |
公开(公告)号: | CN1560911A | 公开(公告)日: | 2005-01-05 |
发明(设计)人: | 何昆耀;宫振越 | 申请(专利权)人: | 威盛电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/60;H01L23/12;H05K3/46 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种电路载板的制造方法,该方法适用于制作如封装载板或印刷电路板之类的电路载板。首先提供由导电材料制成的支撑基板,其划分为第一结构层及相互重迭的第二结构层;对第一结构层构图,以形成具有多个以阵列方式排列的第一导电接点的第一导电图形;在第二结构层及第一导电图形之间所围成的空间形成绝缘图形;在绝缘图形及第一导电图形上形成多层内互联结构,该多层内互联结构具有高密度的内部电路的,其与所述第一导电接点相连,且内部电路具有多个位于多层内互联结构的远离第一导电图形表面的接合垫;最后移除至少局部第二结构层,形成由高密度布线图形及导电材料的接点阵列构成的不具传统镀通孔(PTH)的电路载板。 | ||
搜索关键词: | 电路 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电路载板的制造方法,包括:提供一由导电材料制成的支撑基板,该支撑基板被划分为一第一结构层及相互重迭的一第二结构层;对所述第一结构层构图,以形成第一导电图形,该导电图形包括多个第一导电接点;在所述第二结构层及第一导电图形之间所围成的空间形成一绝缘图形;在所述绝缘图形及第一导电图形上形成一多层内互联结构,该多层内互联结构具有一内部电路,其与所述第一导电接点相连,所述内部电路具有多个接合垫,这些接合垫位于所述多层内互联结构的远离所述第一导电图形的表面;以及移除至少局部所述第二结构层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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