[发明专利]偏转器及其制造方法和应用偏转器的带电粒子束曝光装置有效
| 申请号： | 200410007276.9 | 申请日： | 2004-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1525259A | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 小野治人;赤池正刚;玉森研尔;广濑太;小山泰史;寺崎敦则;长永兼一;中山义则 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社;株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G03G15/04 | 分类号： | G03G15/04;G03G15/043 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 偏转器备有具有多个贯通口、和用于控制通过该贯通口的带电粒子束的轨道，与该各贯通口的侧壁对置地设置的第1电极和第2电极构成的电极对的电极基片(400)、和为了在电极基片的各电极对上个别地加上电压，具有与各电极对连接的连接配线焊点的配线基片(500)，通过配线基片的连接配线焊点，接合地形成电极基片和配线基片。 | ||
| 搜索关键词： | 偏转 及其 制造 方法 应用 带电 粒子束 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种偏转器，其特征在于：它备有具有多个贯通口、和用于控制通过该贯通口的带电粒子束的轨道，与该各贯通口的侧壁对置地设置的第1电极和第2电极构成的电极对的电极基片；和为了在上述电极基片的各电极对上个别地加上电压，具有与各电极对连接的连接配线焊点的配线基片，通过上述配线基片的连接配线焊点，接合形成上述电极基片和上述配线基片。
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