[发明专利]气雾生成装置无效
| 申请号： | 200410007339.0 | 申请日： | 2004-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN1524626A | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 泷川胜;大野隆史 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B05B7/04 | 分类号： | B05B7/04;B05B7/26;B23Q11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种气雾生成装置，不需要随着对喷射器的气体供给压力的改变，而对运载气体喷出口的运载气体供给压力进行复杂调节，并可进行小径钻头等的最少量润滑(MQL)加工。该气雾生成装置，包括接受来自气体供给源的气体和容器内液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、将容器内的气雾从容器导出的导管，以及与导管连通的运载气体喷出口，其特征在于，它还包括在从气体供给源向喷射器供给气体的气体供给通路上设置的第1压力控制装置，以及第2压力控制装置，第2压力控制装置设置在从气体供给源向运载气体喷出口供给运载气体的运载气体供给通路上，将二次侧压力控制成将第1压力控制装置的二次侧压力以一定比例减压后的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 生成 装置 | ||
【主权项】：
1.一种气雾生成装置，包括：接受来自气体供给源的气体和容器内的液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、将所述容器内的所述气雾从所述容器导出的导管、以及与所述导管连通的运载气体喷出口，其特征在于，还包括：第1压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述喷射器供给气体的气体供给通路内，以及，第2压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述运载气体喷出口供给运载气体的运载气体供给通路内，将二次侧压力控制成将所述第1压力控制装置的二次侧压力以一定比例减压的压力。
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