[发明专利]有机金属化合物及其合成方法以及含其的溶液原料，薄膜无效
| 申请号： | 200410007411.X | 申请日： | 2004-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN1521172A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 斋笃 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C07F5/06 | 分类号： | C07F5/06;C07F7/00;C07F9/00;C07F15/04;C23C16/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 钟守期;庞立志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供可以提高气化稳定性的有机金属化合物及其合成方法以及含有该化合物的溶液原料，含有金属的薄膜。本发明的有机金属化合物是具有金属原子和氮原子的键或准金属和氮原子的键的化合物，其特征在于该化合物中含有的氯的含量为200ppm或以下且水的含量在30ppm或以下。另外该化合物的通式为下列式(1)所示。[化6]M[（R1）2N]（w-s）（R2）s…（1）其中，M为金属原子或准金属原子，金属原子为Hf，Zr，Ta，Ti，Ce，Al，V，La，Nb或Ni，准金属原子是Si，R1是甲基或乙基，R2是乙基，n是M的价数，s是0～n－1的整数。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 及其 合成 方法 以及 溶液 原料 薄膜 | ||
【主权项】：
1.有机金属化合物，其特征在于在具有金属原子与氮原子的键或准金属原子与氮原子的键的有机金属化合物中，上述化合物中含有的氯的含量为200ppm或以下，且水的含量为30ppm或以下。
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