[发明专利]溶液涂敷装置和涂敷方法有效
申请号: | 200410007816.3 | 申请日: | 2004-01-29 |
公开(公告)号: | CN1536414A | 公开(公告)日: | 2004-10-13 |
发明(设计)人: | 松嶋大辅;丰岛范夫;梶原慎二 | 申请(专利权)人: | 芝浦机械电子株式会社 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 胡建新 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种溶液涂敷装置,其以预定的涂敷图形在沿预定方向搬运的基板上涂敷溶液,该溶液涂敷装置包括:喷头(9),具有以喷墨方式喷出上述溶液的多个喷嘴(16);驱动部(20),从该喷头的各喷嘴间歇地喷出溶液;控制装置(21),存储有在上述喷头上设置的喷嘴的坐标数据,根据该坐标数据和溶液涂敷图形来控制上述驱动部的驱动,使溶液从上述喷嘴向基板喷出。 | ||
搜索关键词: | 溶液 装置 方法 | ||
【主权项】:
1、一种溶液涂敷装置,其特征在于,在沿预定方向搬运的基板上,按照预定的涂敷图形涂敷溶液,其特征在于,包括:喷头,具有以喷墨方式喷出上述溶液的多个喷嘴;驱动部,从该喷头的各喷嘴间歇地喷出溶液;控制装置,存储有在上述喷头上设置的喷嘴的坐标数据,根据该坐标数据和溶液涂敷图形来控制上述驱动部的驱动,使溶液从上述喷嘴向基板喷出。
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