[发明专利]溶液涂敷装置和涂敷方法有效

专利信息
申请号: 200410007816.3 申请日: 2004-01-29
公开(公告)号: CN1536414A 公开(公告)日: 2004-10-13
发明(设计)人: 松嶋大辅;丰岛范夫;梶原慎二 申请(专利权)人: 芝浦机械电子株式会社
主分类号: G02F1/1337 分类号: G02F1/1337
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 胡建新
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种溶液涂敷装置,其以预定的涂敷图形在沿预定方向搬运的基板上涂敷溶液,该溶液涂敷装置包括:喷头(9),具有以喷墨方式喷出上述溶液的多个喷嘴(16);驱动部(20),从该喷头的各喷嘴间歇地喷出溶液;控制装置(21),存储有在上述喷头上设置的喷嘴的坐标数据,根据该坐标数据和溶液涂敷图形来控制上述驱动部的驱动,使溶液从上述喷嘴向基板喷出。
搜索关键词: 溶液 装置 方法
【主权项】:
1、一种溶液涂敷装置,其特征在于,在沿预定方向搬运的基板上,按照预定的涂敷图形涂敷溶液,其特征在于,包括:喷头,具有以喷墨方式喷出上述溶液的多个喷嘴;驱动部,从该喷头的各喷嘴间歇地喷出溶液;控制装置,存储有在上述喷头上设置的喷嘴的坐标数据,根据该坐标数据和溶液涂敷图形来控制上述驱动部的驱动,使溶液从上述喷嘴向基板喷出。
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