[发明专利]移载装置、搬送装置及移载方法

摘要

一种移载装置、搬送装置以及移载方法。移载装置(1)设置在具有支承搬送对象物(Wf)的支承机构(51)，沿着对搬送对象物(Wf)进行处理的处理装置(23)、(24)、(26)、(27)设置、规定支承机构(51)移动方向的导向机构(53)，和沿着导向机构(53)移动支承机构(51)的移动机构(55)的多个搬送装置(20)、(120)之间，具有使一方的搬送装置(20)的移动机构(55)与另一方的搬送装置(120)的移动机构(55)同步的同步控制机构(41)，和从一方的搬送装置(20)的支承机构(51)接受搬送对象物(Wf)、向另一方的搬送装置(120)的支承机构(51)移交的至少一个交接机构(21)。由此能够容易地增设搬送装置。

主权项

1.一种移载装置，设置在具有支承搬送对象物的支承机构，沿着对所述搬送对象物进行处理的处理装置设置、规定所述支承机构的移动方向的导向机构，和沿着所述导向机构移动所述支承机构的移动机构的多个搬送装置之间，其特征在于，具有使一方的所述搬送装置的移动机构与另一方的所述搬送装置的移动机构同步的同步控制机构，和从一方的所述搬送装置的支承机构接受所述搬送对象物、移交给另一方的所述搬送装置的支承机构的至少一个交接机构。