[发明专利]支撑架及应用此支撑架的传送机构有效
申请号: | 200410007967.9 | 申请日: | 2004-03-23 |
公开(公告)号: | CN1564316A | 公开(公告)日: | 2005-01-12 |
发明(设计)人: | 徐顺龙;枫政国;沈秋威;曾焕均 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/00 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是关于一种支撑架及应用此支撑架的传送机构,该支撑架适于支撑一基板。该支撑架主要由一主支撑件、一次支撑件及多个定位块所构成。主支撑件具有一主支撑面,次支撑件是枢设于主支撑件上且具有一次支撑面。次支撑件区分为一第一部分与一第二部分,分别位于次支撑件与主支撑件的枢设处两侧,次支撑件适于在一第一位置及一第二位置间运动。其中,第二部分在第一位置时是高于主支撑面。定位块分别配设于主支撑件的主支撑面上,以及次支撑件的第一部分的次支撑面上。本发明可确保支撑架离开工作腔体时,次支撑架上的定位块不会碰到基板,不会造成基板偏移或带出工作腔体,减少因基板移位而需停工的机会,进而可提高平面显示器的产能且降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 支撑架 应用 传送 机构 | ||
【主权项】:
1、一种支撑架,适于支撑一基板,其特征在于该支撑架包括:一主支撑件,其具有一主支撑面;一次支撑件,枢设于该主支撑件上,该次支撑件具有一次支撑面,而该次支撑件是区分为一第一部分与一第二部分,其分别位于该次支撑件与该主支撑件的枢设处的两侧,该次支撑件适于在一第一位置及一第二位置间运动,其中该第二部分在该第一位置时是高于该主支撑面;以及多数个定位块,分别配设于该主支撑件的该主支撑面上与该次支撑件的该第一部分的该次支撑面上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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