[发明专利]使用显微机械加工的超声换能器的镶嵌式阵列无效
| 申请号： | 200410008013.X | 申请日： | 2004-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN1527414A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | K·托梅纽斯;R·A·菲舍尔;D·M·米尔斯;R·G·沃德尼基;C·R·哈扎德;L·S·史密斯 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;A61B8/00;A61B8/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 龚海军;张志醒 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种超声换能器阵列，包括通过多个微电子开关(X1，X2，X3)实现相互连接的多个子单元(U1，U2，U3)，每个子单元包括多个各自的显微机械加工的超声换能器(MUT)单元(2)，在一个特定的子单元中的所述MUT单元是连接在一起的硬连线。该开关用于设置该子单元，以形成多个同心环阵元。这种设计在显著地降低了复杂性的同时，又能够在超声成像数据采集过程中在垂直方向上聚焦。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 显微 机械 加工 超声 换能器 镶嵌 阵列 | ||
【主权项】：
1.一种镶嵌式阵列，包括多个子单元(U1，U2，U3)，所述的每个子单元包括各自的多个显微机械加工的超声换能器(MUT)单元(2)，并且每个MUT单元包括一个顶部电极(12)和一个底部电极(10)，其中所述的用于形成任何特定的子单元的MUT单元的顶部电极是连接在一起的硬连线，并且所述的同样的MUT单元的顶部电极也是连接在一起的硬连线。
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