[发明专利]薄膜压电元件及其制造方法与执行元件有效
| 申请号： | 200410008037.5 | 申请日： | 2004-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN1527415A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 内山博一;柳照美 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种薄膜压电元件及其制造方法以及执行元件，所述薄膜压电元件层积两层主电极膜和对向电极膜夹持的压电薄膜，并将其形成一对，在电极取出区域设置主电极膜的一部分比压电薄膜突出的区域，设置第一开口部和第二开口部中的至少某一开口部，所述第一开口部形成于所述区域上的绝缘层上，所述第二开口部如下形成，设置在对向电极膜的一部分仅形成有绝缘层的区域，在该区域上的绝缘层上形成所述第二开口部，并具有介由所述开口部和对向电极膜或主电极膜连接并引出至表面层的连接配线。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 元件 及其 制造 方法 执行 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜压电元件，其包括：结构体，由第一主电极膜和第一对向电极膜夹持的第一压电薄膜与由第二主电极膜和第二对向电极膜夹持的第二压电薄膜使所述第一对向电极膜和所述第二对向电极膜相互对向，物理地或电连接所述第一对向电极膜和所述第二对向电极膜而构成；绝缘树脂层，其覆盖所述结构体的厚度部分的外周区域，所述第一主电极膜具有一部分比所述第一压电薄膜延长的第一主电极膜突出部，在所述第一主电极膜突出部上的所述绝缘层上形成第一开口部，介由所述第一开口部配置连接所述第一主电极膜突出部和所述第二主电极膜的第一连接配线。
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