[发明专利]电磁波测量装置及其测量方法

摘要

电磁波测量装置具有环形探头(11a～11c)，这些探头配置成环形平面相互垂直，而且各自的磁场检测空间没有其它环形探头的干扰。配置在测量位置坐标(x_i，y_j)上时，检测出与测量位置坐标(x_i，y_j)的XY平面平行的磁场分量和测量位置坐标(x_i，y_j－1)的Z轴方向的磁场分量，并且在+Y轴方向每一间距重复测量。通过每一测量位置坐标对这些检测结果进行平方相加后取平均，能运算每一测量位置坐标的3维磁场电平，从而可对被测量物(HP)运算高精度的邻近电磁场分布。

主权项

1、一种电磁波测量装置，其特征在于，具有合为一体地至少保持形成第1环形面的第1环形探头和形成对该第1环形面垂直的第2环形面的第2环形探头以及形成对该第1和第2环形面垂直的第3环形面的第3环形探头的电磁探测部、承载被测量物并且使该被测量物配置在所述电磁探测部的下部的载物台部、使所述电磁探测部与所述载物台部相对移动的驱动部、构成至少分别从所述第1至第3环形探头检测感应电信号并分别产生表示垂直于所述第1至第3环形面的电磁波的强度的第1至第3电磁场电平信息的电磁波电平产生部、以及根据所述电磁波电平产生部产生的各所述电磁场电平信息运算表示3维电磁波强度的3维电磁场电平信息的运算处理部。