[发明专利]制造系统、配送系统及配送方法有效
申请号: | 200410008414.5 | 申请日: | 2004-03-10 |
公开(公告)号: | CN1603066A | 公开(公告)日: | 2005-04-06 |
发明(设计)人: | 张格斌;施瑞安;刘辉堂 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B23Q41/00 | 分类号: | B23Q41/00;B65G49/00;B65G49/07;B65G1/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王一斌 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种制造系统,其包括复数机台群组及一配送系统。其中上述复数机台群组包含复数制程机台,其可以处理在制品。其中上述配送系统是设置于上述制程机台之间,用以配送上述在制品,其包括复数机台群组内配送次系统、至少一机台群组间配送次系统、复数缓冲仓储及至少一连结次系统。上述配送系统的特征在于上述连结次系统分别设置于上述机台群组中两相邻机台群组之间,并且直接耦合对应的两相邻机台群组内的上述机台群组内配送次系统,其中上述连结次系统的规格兼容于对应的两相邻机台群组内的上述机台群组内配送次系统的规格。 | ||
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【主权项】:
1.一种制造系统,其包括:复数机台群组,其中每一上述机台群组包含复数制程机台,用以处理至少一在制品;以及一配送系统,其设置于上述制程机台之间,用以配送上述在制品,其包括:复数机台群组内配送次系统,分别对应于上述机台群组,用以在对应的上述机台群组内的制程机台间配送上述在制品;至少一机台群组间配送次系统,设置于上述机台群组之间,用以在对应的上述机台群组间配送上述在制品;复数缓冲仓储,分别设置于对应的上述机台群组内配送次系统和上述机台群组间配送次系统之间,用以在对应的上述机台群组内配送次系统和上述机台群组间配送次系统之间配送上述在制品;以及至少一连结次系统,分别设置于上述机台群组中两相邻机台群组之间,并且直接耦合对应的两相邻机台群组内的上述机台群组内配送次系统,其中上述连结次系统的规格兼容于对应的两相邻机台群组内的上述机台群组内配送次系统的规格。
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