[发明专利]大型基板载物台无效
| 申请号： | 200410008550.4 | 申请日： | 2004-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1532534A | 公开（公告）日： | 2004-09-29 |
| 发明（设计）人： | 安田守;藤崎畅夫 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00;G01N35/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种大型基板载物台，其结构是：对设置了驱动部(7)的主轴侧移动工作台(10)、从动侧移动工作台(12)和主动－从动工作台结合件(14)进行结合，其中对主轴侧移动工作台(10)，通过旋转轴(15)来对检测基板固定支架(16)进行轴支承，而且，在该检测基板固定支架(16)和从动侧移动工作台(12)之间插入传动件(21)。 | ||
| 搜索关键词： | 大型 基板载物台 | ||
【主权项】：
1、一种大型基板载物台，其中，通过从互相平行地布置的至少2个导轨中任意一个的所述导轨侧施加的驱动力，在所述各导轨上移动，其特征在于具有：用于移动的工作台，可移动地设置在所述各导轨上；及基板支架，被安装成一个边侧被支承在施加所述驱动力的所述用于移动的工作台的边侧，而且与所述用于移动的工作台的所述边侧相对置的另一个边侧可在所述用于移动的工作台上进行位移。
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