[发明专利]激光加工装置无效
| 申请号： | 200410008634.8 | 申请日： | 2004-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1530200A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | 森贞雄;菅原弘之;青山博志 | 申请（专利权）人： | 日立比亚机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/067 | 分类号： | B23K26/067 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 熊志诚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及利用激光进行孔加工及切断的激光加工装置。本发明提供的激光加工装置通过使3个以上的分割光入射到1个加工透镜上，能够实现高速加工，并且加工品质(加工孔的形状、大小、精度及直线度)优良。通过利用入射角不同的全反射·透过型的光速合成机构(31c)使偏振方向相同的光束(A)的光路和光束(B)的光路在大致同一方向汇聚后，通过偏振光型的光束合成机构(32)使光束(A)及光束(B)的光路，及与它们偏振方向不同的光束(C)的光路大致在同一方向上汇聚，而入射到加工透镜(45)上。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，是具备光分割机构、偏向机构、光束合成机构、及加工透镜，通过上述光分割机构将激光分割成光路不同的多个分割光，通过上述光束合成机构使上述分割光的光路在大致同一方向汇聚而入射到1个上述加工透镜上的激光加工装置，其特征在于，上述光束合成机构由全反射·透过型光束合成机构和偏振光型光束合成机构构成；通过上述全反射·透过型光束合成机构使2个上述分割光的光路在大致同一方向汇聚后，通过上述偏振型光束合成机构使上述2个分割光和其它上述分割光的光路在大致同一方向上汇聚。
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