[发明专利]超纯水制造系统

摘要

本发明是关于一种超纯水制造系统，可以使系统内的杀菌处理后且超纯水制造系统再次开始运转时，超纯水中的金属浓度显著降低，并在刚开始再次运转后即得到高纯度且水质稳定的超纯水。次储槽2内的水依次通过热交换装置10、配管12、UV氧化装置20、配管22、离子交换装置30、配管32及膜分离装置40被处理，形成超纯水。在装置10、20、30、40中设有分别绕过各装置的旁通管路11、21、31、41。在进行杀菌时，利用管路11、21、31最先只在膜分离装置40中流过杀菌水。在其后的热交换装置10和UV氧化装置20的杀菌时，杀菌水绕过膜分离装置40而流过管路41。

主权项

1、一种超纯水制造系统，其特征在于，其包括：一次纯水的贮水用次储槽；超纯水制造器主体，导入前述次储槽内的水以制造超纯水，且至少具有依次配置的紫外线氧化装置、离子交换装置及膜分离装置；供给管路，将前述超纯水制造器主体所制造的超纯水送至使用点；返回管路，将通过了前述使用点的未使用的超纯水返回至前述次储槽；流通单元，绕过较前述膜分离装置靠前段侧的装置，并在前述膜分离装置中使杀菌水流通；以及绕道流通单元，使杀菌水流通较前述离子交换装置靠前段侧的装置，且使来自前述前段侧的装置的杀菌水绕道流通过前述离子交换装置及前述膜分离装置。