[发明专利]一种光操纵原子制作纳米结构的方法及其装置无效
| 申请号： | 200410009041.3 | 申请日： | 2004-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1689960A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陈献忠;姚汉民;陈旭南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光操纵原子制作纳米结构的方法及其装置，用高能脉冲激光烧蚀金属靶材料产生原子束，采用微秒脉冲激光器发出的激光形成与原子束传播方向垂直的完全非共振激光驻波场用于对原子进行聚焦。制作纳米结构的装置由真空室、脉冲激光器、激光缩束系统、偏转电极等构成。本发明具有可操纵的原子种类多、可蒸发难熔金属材料、真空室污染轻、不需要对原子束进行横向高度准直等，可广泛应用于新型固态电子、光电子器件及半导体物理理论研究等方面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 操纵 原子 制作 纳米 结构 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用光操纵原子制作纳米结构的方法，其特征在于：采用激光蒸发的方法产生原子束，用完全非共振光操纵原子实现纳米量级的聚焦来制作纳米结构，具体包括下列步骤：(1)采用纳秒脉冲激光器产生脉冲原子束，等原子束快到达聚焦区域时启动微秒脉冲激光器，使脉冲原子束和激光驻波场能够相遇；(2)原子束首先通过准直孔进行初步准直，接着在驻波场中与光场发生相互作用，最后沉积在基底上形成纳米图形。
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