[发明专利]一种微液滴驱动连续镜面能动变形反射镜

摘要

一种微液滴驱动连续镜面能动变形反射镜，由液滴的阵列连接硅或玻璃基板、薄膜连续反射镜面而形成一体，液滴的阵列作为驱动薄膜反射镜面的驱动器阵列；在硅或玻璃基板的上表面制作出由中心电极、边缘电极组成的电极阵列，并在电极上覆盖一层氮化硅；氮化硅的上表面制作有亲疏液图案层，薄膜反射镜面的下表面上制作有相同布局的亲疏水图案层，并与底版上表面的亲疏水图案层对齐，一个个液滴存在于亲疏液图案之间，与亲液小圆形区域连接。本发明中驱动器与薄膜镜面的连接实现简便、过渡平滑、应力极小，可以获得合理的驱动器间交连值，避免了能动反射镜自身带有的高阶像差；本发明中驱动器制作工艺简便、容易实现、成本低。

主权项

1、一种微液滴驱动连续镜面能动变形反射镜，其特征在于它包括：由液滴(3)的阵列连接硅或玻璃基版(1)、薄膜反射镜面(2)而形成一体，液滴(3)的阵列作为驱动薄膜反射镜面(2)的驱动器阵列，在硅或玻璃基板(1)的上表面制作出由中心电极(6)、边缘电极(7)组成的电极阵列，并在电极上覆盖一层氮化硅(4)；氮化硅(4)的上表面制作有亲疏液图案层(5)，薄膜反射镜面(2)的下表面上制作有相同布局的亲疏水图案层(5’)，并与底版上表面的亲疏水图案层(5)对齐，一个个液滴存在于亲疏液图案5和5’之间，与亲液小圆形区域(9)连接。