[发明专利]脉冲气体激光器的预电离装置

摘要

本发明脉冲气体激光器的预电离装置，涉及气体激光器技术，适用于高重复频率脉冲气体激光器的预电离装置。本发明中表面预电离阵列位于主电极阴极一侧或两侧。该阴极同时也是预电离阵列电极对中的一个公共电极，预电离阵列电极对的另一个电极由多个相同的窄金属片组成。该金属片均匀敷在绝缘介质板上，绝缘介质板另一侧与主电极阴极侧面紧密相连。每个金属片与公共阴极形成电极对，当高压脉冲加在该电极对时，通过绝缘介质板表面形成多通道滑闪放电，产生高效的紫外光，为主放电空间提供丰富的初始电子。绝缘介质板还有均匀气流和减少气流损失的作用。这种结构有利于更高效地产生激光和延长气体的使用寿命，有较高的实用价值。

主权项

1.一种脉冲气体激光器的预电离装置，为表面多通道滑闪预电离装置，其特征在于，a)脉冲气体放电激光器中，主放电电极由一对均匀场实心电极组成；b)主放电电极形成的放电空间的初始电子由表面多通道滑闪放电提供，产生预电离放电的电极对中一个公共电极为主放电电极阴极，相对的另一电极为复数个均匀分布的窄金属片，两者由绝缘介质板连接，该介质板为滑闪放电提供爬电通道；c)每一个滑闪放电通道中的窄金属片都与各自独立、相同大小的耦合电容直接相连。