[发明专利]一种光瞬态自动测试系统无效
| 申请号： | 200410009988.4 | 申请日： | 2004-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1786687A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 蒋波;卢励吾;张砚华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/88;G01N33/00;G01R31/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体测试领域，特别是一种光瞬态自动测试系统。包括：光注入装置；光注入装置；样品室装置；信息采集装置。本发明可用于半导体材料中光激发瞬态信号的自动测试。为此，本系统是检测半导体材料中杂质和缺陷及微结构的最有力手段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 瞬态 自动 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光瞬态自动测试系统，其特征在于，其中包括：光注入装置；提供激发光源，并使光的波长可做连续改变；样品室装置；被测样品放置在样品室中央的样品台上，由光注入系统提供的激发光束通过光缆及光点微调装置照射到样品上，样品台上设有端口连接到触发信号系统，样品上产生的瞬态信号经放大后传输到信息采集系统，样品室下端连接到真空系统； 信息采集装置；通过样品台上的输出端口将样品上经放大的电瞬态信号收集到计算机系统中，并在显示屏幕上描画出被测样品相应的瞬态谱放大，并将测试数据自动保存处理后给出所须的参数。
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